隨著微電子技術(shù)和大規(guī)模集成電路，以及超大規(guī)模集成電路的迅猛發(fā)展，微處理器引入到控制閥中使之智能化，功能多樣化，出現(xiàn)了智能執(zhí)行器以及Ｚ多回轉(zhuǎn)閥門電動裝置等。
  
  智能執(zhí)行器是智能儀表中的一種。它有電動和氣動兩類，每類又有多個品種。一般智能電動執(zhí)行器的基本功能是信號驅(qū)動和執(zhí)行，內(nèi)含控制閥輸出特性補(bǔ)償、PID控制和運(yùn)算、閥門特性自檢驗(yàn)和自診斷功能。由于智能執(zhí)行器備有微機(jī)通信結(jié)構(gòu)，它可與上位控制器、變送器、記錄儀等智能儀表一起聯(lián)網(wǎng)，構(gòu)成控制系統(tǒng)。
  
  三相智能電動執(zhí)行器采用了智能單相電動執(zhí)行器的主體部分，其對輸入信號的處理、特性修正、故障診斷等都是一樣的。只是對輸出信號的處理和控制軟件做了些改動。智能伺服放大器的輸出進(jìn)入三相功率轉(zhuǎn)換器，由其轉(zhuǎn)換成三相功率輸出，再驅(qū)動三相伺服電動機(jī)工作。